6月30日，国内等离子体电源系统龙头神州股份科创板IPO获受理。
神州股份成立于2016年，总部位于江苏扬州。该公司以半导体制造关键工艺技术——等离子体源技术为基础，为我国半导体先进制程产业链提供等离子体电源系统产品和技术支持服务。
根据市场调研机构恒州博智（QYResearch）的数据，2025年，中国大陆半导体领域远程等离子体源系统的国产化率不足7%，神州股份在远程等离子体源系统市场占有率排名国内企业第一，并在中国大陆等离子体电源系统技术支持服务市场中的市场份额排名第一。
2024年，神州股份被认定为国家级重点专精特新“小巨人”企业。
神州股份的股东阵容豪华。其前10大股东中，国家集成电路产业投资基金二期（简称“大基金二期”）持股4.7847%，英特尔亚太研发有限公司持股8.6125%、长存产业投资基金持股3.1818%。
此外，中微公司通过直接或间接方式合计持有神州股份3.2246%的股份；拓荆科技通过直接或间接方式合计持有神州股份1.9428%的股份；华虹二期基金（上海多家国资出资，长鑫科技出资比例7.0391%）直接持有神州股份1.36%的股份。
目前，神州股份的等离子体电源系统产品已经批量导入中微公司、拓荆科技、北方华创等国内头部半导体设备厂商，可适配14纳米及以下逻辑芯片、2XX层及以上存储芯片等先进制程产线。
技术支持服务方面，神州股份是国内规模领先的等离子体电源系统专业技术支持服务商，相关服务已经覆盖台积电、英特尔、三星电子、SK海力士、美光、德州仪器、华润微等国内外主流芯片产线，以及应用材料、中微公司、拓荆科技、北方华创等国内外知名半导体设备厂商。
本次IPO，神州股份拟募资25.22亿元，用于先进工艺节点集成电路领域电源类零部件研发及产业化项目、技术支持服务体系升级扩容项目、上海产业化基地建设项目、技术研发创新中心建设项目以及补充流动资金。
在半导体领域，等离子体源技术是实现半导体芯片先进制程的必要技术手段。等离子体电源系统是等离子体源技术的核心载体，可通过电源系统参数的精准调控，在极短时间内实现对等离子体的精确控制，进而驱动等离子体完成刻蚀、薄膜沉积、离子注入等半导体关键工艺。
神州股份的主要自研产品包括等离子体射频电源系统、远程等离子体源系统、高压脉冲电源系统等，同时，也为全球主要芯片产线提供等离子体电源系统的检测、维修和性能升级等技术支持服务。
2023年、2024年、2025年，神州股份营收分别为2.61亿元、4.46亿元和6.54亿元，净利润分别为-0.15亿元、1.54亿元和2.29亿元，研发费用分别为0.37亿元、0.58亿元和1.09亿元。
▲神州股份营收、净利润与研发费用变动（芯东西制表）
神州股份主营业务收入由自研产品销售、技术支持服务、零部件销售及其他、受托研发四类构成，整体呈快速增长态势，总额从2023年的2.58亿元增至2024年的4.38亿元，并于2025年进一步攀升至6.42亿元。报告期内，其自研产品销售所贡献的营收规模、占比大幅度上升，2025年该业务贡献了神州股份55.11%的营收，营收规模2年内暴涨约1570%。
▲神州股份主营业务收入构成变动（芯东西制表）
按应用领域来看，神州股份主营业务收入高度集中于半导体领域。报告期内，半导体领域收入占比始终在85%以上，且逐年攀升，2025年该领域收入达6.13亿元，占主营业务收入的95.38%，显示、光伏及其他领域的收入合计占比不足5%。
报告期内，神州股份主营业务的毛利率分别为62.56%、66.94%、66.65%。自研产品是其毛利率最高的产品，报告期内毛利率分别为60.17%、69.63和71.37%。
与恒运昌、英杰电气、先锋精科、富创精密等同行业可比公司相比，神州股份的毛利率处于业内较高水平，且领先优势较为明显。这是由于神州股份聚焦于高技术附加值、高研发难度、高毛利率的先进制程领域。
在半导体等离子体电源系统领域，神州股份是中国大陆产品布局较为全面、技术较为先进的企业之一，其自研的多款等离子体电源系统产品已批量应用于我国先进制程芯片产线，填补国内高端等离子体电源系统的应用空白。
神州股份的大部分产品都应用于先进制程。其等离子体射频电源系统产品的主要情况如下：
其远程等离子体源系统主要情况如下：
除已实现商业化的产品外，报告期内，神州股份完成了ESC吸附电源、ESC加热电源、溅射电源等多项储备产品的研发布局，相关产品已处于客户验证阶段。
截至2025年末，神州股份拥有124名研发人员，研发人员占比24.46%。该公司公司共取得授权专利107项，其中发明专利62项。
神州股份向国内外多家知名半导体公司与半导体设备公司销售其产品与服务，报告期内，其客户集中度不断上升。神州股份的前五大客户如下：
神州股份的多家大客户都持有其股份。英特尔通过其投资平台英特尔亚太持有神州股份8.6125%的股份，报告期内，神州股份主要为英特尔大连工厂提供技术支持服务。2025年9月，英特尔将大连工厂出售给了SK海力士，神州股份继续向SK海力士大连工厂提供相关技术支持服务。
中微公司通过全资子公司中微半导体（上海）直接持有神州股份1.3636%的股份，并参股智微厚德、智微攀峰，间接持有1.8610%的股份。
拓荆科技通过全资子公司上海岩泉直接持有神州股份1.7861%的股份，并参股拓荆芯链，间接持有0.1567%的股份。
供应商方面，神州股份采购的原材料包括电源系统备机类、模组类、电子料件类、电容类、功率器件类、结构件、五金件类和腔体类等。其前五大供应商如下：
截至今年6月，神州股份的股权结构图如下：
神州股份的股东阵容豪华，除了此前提到的英特尔、中微公司、拓荆科技之外，大基金二期持有该公司4.78%的股份，长存产业基金（长江存储旗下投资平台在其中持股11.26%）持有该公司3.18%的股份。
神州股份的董事长、总经理、法定代表人朱培文直接持有神州股份21.1682%的股份，并通过员工持股平台众芯聚能间接控制23.2535%的股份，还通过《一致行动人协议书》控制20.3183%的股份，合计控制64.74%的股份对应的表决权，是神州股份的实际控制人。
朱培文出生于1975年，研究生学历。2001年7月至2022年2月，他在扬州市神州科技有限公司（2022年2月已注销）担任执行董事、总经理；2016年4月至今，历任神州股份总经理、董事长。
近年来，随着国内半导体“卡脖子”领域技术攻关持续推进，我国半导体设备与半导体制造产业已实现规模化突破，各细分领域布局持续完善，协同发展的正向循环已初步形成。
中游设备与制造环节的持续成熟，为神州股份这样的上游半导体零部件及技术支持服务企业提供了广阔的市场空间与规模化验证土壤。
未来，神州股份计划以“先进工艺节点集成电路领域电源类零部件研发及产业化项目”为核心载体，攻克关键技术，同时重点布局技术成熟度高、附加值高、市场需求明确的等离子体电源系统产品的产业化生产，优化生产布局与供应链协同，提升产品量产一致性与交付效率，为承接国产化替代订单提供产能支撑。
本文来自微信公众号“芯东西”，作者：陈骏达，36氪经授权发布。
发布时间：2026-07-01 16:16
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